страница_баннер

ST.CERA Индивидуальный керамический рычаг погрузчика из 99,5% глинозема

ST.CERA Индивидуальный керамический рычаг погрузчика из 99,5% глинозема

Краткое описание:

Керамический концевой эффектор/манипулятор устанавливается на робота-манипулятора или «концевые эффекторы» и используется для переноса кремниевых пластин в кассеты или технологические камеры или из них.
Преимущества использования керамики заключаются в уменьшении прогиба благодаря высокой прочности на изгиб, устойчивости к высоким температурам, а также устранении металлических загрязнений и частиц.


Информация о продукте

Теги продукта

информация о продукте

Благодаря свойствам устойчивости к высоким температурам, коррозии, истиранию и изоляции керамика может работать во многих видах оборудования для производства полупроводников в условиях высокой температуры, вакуума или агрессивных газов в течение длительного времени.

Изготовленный из порошка оксида алюминия высокой чистоты, обработанный холодным изостатическим прессованием, высокотемпературным спеканием и прецизионной отделкой, керамический концевой эффектор может достигать допуска по размеру до ± 0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1, термостойкости 1600 ℃.

Керамический концевой эффектор с полостью может работать при температуре до 800 ℃ благодаря уникальной технологии керамического соединения.

Вот характеристики глиноземной керамики разной чистоты.

параметры продукта

логотип

СТ.СЕРА КО., ЛТД.

Паспорт материала

Характеристики Единица Глинозем (Al2O3)
99% Ал2О3 99,5% Al2O3 99,8% Al2O3 99,9% Al2O3
Цвет Белый слоновая кость слоновая кость слоновая кость
Плотность г/см3 3,88 3,90 3,93 3,95
Впитывание воды % 0 0 0 0
Размер зерна мкм 2~5 2~5 2~5 2~4
Предел прочности при изгибе МПа 350 360 361 350
Вязкость разрушения МПа·м1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Твердость по Виккерсу ГПа 14 15,5 16 16
Модуль упругости Юнга ГПа 370 370 380 390
Теплопроводность Вт/м·к 28 32 32 34
Коэффициент теплового расширения 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Диэлектрическая постоянная 9,5 9,6 9,6 9,9
Угол диэлектрических потерь 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Диэлектрическая прочность В/м 15×106 15×106 15×106 15×106
Удельное сопротивление Ом·мм2/м ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Производственный процесс

Грануляция распылением → керамический порошок → Формование → Спекание заготовки → Грубое шлифование → Обработка на станке с ЧПУ → Тонкое измельчение → Проверка размеров → Очистка упаковки

Важная информация

Место происхождения: Хунань, Китай.
Материал: глиноземная керамика
Код ТН ВЭД: 85471000
Возможность поставки: 100 шт. в месяц.
Срок выполнения: 3-4 недели
Упаковка: Гофроящик, пенопласт, картонная коробка.
Другие: Доступна услуга настройки


  • Предыдущий:
  • Следующий: