-
Высокочистый керамический концевой захват из оксида алюминия для роботов, предназначенных для работы с кремниевыми пластинами.
Алюмокерамический концевой захват St.Cera изготовлен с высокой точностью из высокочистого Al₂O₃ (99,8%) с использованием современного 5-осевого шлифовального оборудования с ЧПУ. Наши производственные возможности включают в себя прецизионные шлифовальные станки и обрабатывающие центры с ЧПУ, что позволяет создавать сложные геометрические формы с высокой точностью. Концевой захват имеет тонкий профиль (толщиной всего 1,5 мм) с конической передней кромкой для плавной установки пластины. Материал обеспечивает высокую жесткость (модуль Юнга 380 ГПа), превосходную износостойкость и термическую стабильность до 800 °C. Каждая деталь подвергается прецизионной шлифовке для достижения плоскостности 0,003 мм, параллельности 0,002 мм и чистоты поверхности Ra0,1, что обеспечивает стабильный контакт с пластиной и работу без частиц в полупроводниковых производственных цехах. Доступны варианты длиной от 150 мм до 450 мм, с индивидуальной геометрией наконечника (захват кромкой, Бернулли, плоский) и монтажными фланцами для установки на OEM-роботы. Варианты обработки поверхности включают шлифовку, полировку или антистатическое покрытие (10⁶–10⁹ Ом/кв).
-
ST.CERA Специализированный керамический концевой захват Бернулли из оксида алюминия
Будучи ведущим производителем керамических концевых захватов/манипуляторов, мы разработали нетрадиционный концевой захват/манипулятор, отвечающий потребностям этого рынка. Керамический концевой захват/манипулятор, основанный на принципе Бернулли, способен левитировать и перемещать пластину с помощью воздушного потока с минимальным периферийным контактом.
-
ST.CERA Специализированный керамический концевой захват ESD
Благодаря таким свойствам, как высокая термостойкость, коррозионная стойкость, износостойкость и изоляционные характеристики, керамика может длительное время использоваться во многих видах оборудования для производства полупроводников в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
-
Специально разработанный захватный инструмент из оксида алюминия и керамики ST.CERA
Благодаря таким свойствам, как высокая термостойкость, коррозионная стойкость, износостойкость и изоляционные характеристики, керамика может длительное время использоваться во многих видах оборудования для производства полупроводников в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
-
ST.CERA Индивидуально изготовленный концевой захват для лотка из оксида алюминия и керамики
Это керамический манипулятор/манипулятор лоткового типа, используемый в условиях вакуума.
Керамический концевой захват/манипулятор обладает большей термостойкостью, меньшей склонностью к отклонению и меньшим весом по сравнению с металлическими аналогами.
-
Вакуумный концевой захват из оксида алюминия производства ST.CERA, изготовленный на заказ.
Благодаря таким свойствам, как высокая термостойкость, коррозионная стойкость, износостойкость и изоляционные характеристики, керамика может длительное время использоваться во многих видах оборудования для производства полупроводников в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
-
Специально разработанный концевой захват из оксида алюминия ST.CERA
Компания ST.CERA предлагает антистатические покрытия и антистатические керамические концевые захваты. Изготовленные из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, они обеспечивают допуск по размерам ±0,001 мм, шероховатость поверхности Ra 0,1 и термостойкость до 1600℃.
-
Специально разработанный вакуумный захват из оксида алюминия от компании ST.CERA
Это керамический манипулятор/манипулятор лоткового типа, используемый в условиях вакуума.
Керамический концевой захват/манипулятор обладает большей термостойкостью, меньшей склонностью к отклонению и меньшим весом по сравнению с металлическими аналогами.
Благодаря таким свойствам, как высокая термостойкость, коррозионная стойкость, износостойкость и изоляционные характеристики, керамика может длительное время использоваться во многих видах оборудования для производства полупроводников в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
ST.CERA Специализированный концевой захват из оксида алюминия для обработки кремниевых пластин
Компания ST.CERA предлагает концевые захваты/манипуляторы с антистатическим покрытием и антистатическим керамическим материалом, имеющие встроенный полый канал. Мы специализируемся на технологии, позволяющей создавать вакуумный воздушный канал внутри цельного куска материала без использования клея.
Отсутствует риск загрязнения, выделения газов или попадания частиц. Вакуумный манипулятор/манипулятор ST.CERA со специальным покрытием имеет электрическую изоляцию. Мы также можем предложить керамический материал с защитой от электростатического разряда, обеспечивающий электрическую изоляцию без какого-либо покрытия.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃. -
Компоненты полупроводникового оборудования на основе керамического концевого захвата из оксида алюминия
Предотвратите образование частиц, которые могут скапливаться на скошенных или угловых кромках и задней поверхности пластин во время транспортировки или контакта с концевым захватом/манипулятором.
Для изготовления направляющих был использован мягкий материал, не повреждающий пластину.
Истончение материала возможно благодаря встроенной вакуумной канальной технологии ST.CERA, которая не использует клеи.
Возможно просверлить монтажные отверстия и изменить длину и ширину основания, на которое крепится концевой захват/манипулятор к роботу.
В качестве опции доступны крепления датчиков, винтов и кронштейнов.
Предназначен для использования в атмосферных условиях.
-
Изготовление на станках с ЧПУ керамического концевого захвата St.Cera по индивидуальному заказу.
Компания ST.CERA предлагает вакуумный керамический концевой захват/манипулятор со встроенным полым каналом. Мы специализируемся на технологии, позволяющей создавать вакуумный воздушный канал внутри цельного куска материала без использования клея.
Отсутствует риск загрязнения, выделения газов или попадания частиц. Вакуумные манипуляторы/манипуляторы ST.CERA со встроенным каналом отличаются долговечностью и могут использоваться при высоких температурах. Кроме того, мы снижаем себестоимость производства за счет исключения ненужной сборки.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
Антистатический керамический концевой захват из оксида алюминия
Благодаря таким свойствам, как высокая термостойкость, коррозионная стойкость, износостойкость и изоляционные характеристики, керамика может длительное время использоваться во многих видах оборудования для производства полупроводников в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
