Изоляционное кольцо из оксида алюминия, полученное методом PVD, для систем физического осаждения из паровой фазы.
Изоляционное кольцо PVD от St.Cera изготовлено из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) чистотой 99,8% и предназначено для использования в системах физического осаждения из паровой фазы (PVD). Кольцо обеспечивает электрическую изоляцию между компонентами камеры, предотвращая искрение и гарантируя стабильную работу плазмы. Ключевые свойства включают высокую диэлектрическую прочность (15×10⁶ В/м), удельное сопротивление >10¹⁴ Ом·мм²/м и термическую стабильность до 1600 °C. Наши возможности прецизионной обработки позволяют получать наружные диаметры до 600 мм, внутренние диаметры до 0,2 мм, плоскостность 0,003 мм и чистоту поверхности Ra0,1. Нулевая пористость кольца и химическая инертность обеспечивают долговременную надежность в агрессивных средах распыления.
Технические характеристики (на основе 99,8% алюминия)₂O₃(и производственные возможности компании St. Cera):
| Свойство | Ценить |
| Материал | 99,8% оксид алюминия (цвет слоновой кости) |
| Плотность | 3,93 г/см³ |
| Прочность на изгиб | 361 МПа |
| Твердость по Виккерсу | 16 ГПа |
| Диэлектрическая прочность | 15×10⁶ В/м |
| Удельное сопротивление | >10¹⁴ Ом·мм²/м |
| Максимальный внешний диаметр | 600 мм |
| Минимальный внутренний диаметр | 0,2 мм |
| Максимальная толщина | 100 мм |
| Плоскость | 0,003 мм |
| Параллелизм | 0,002 мм |
| Отделка поверхности | Ra0.1 |
| Максимальная рабочая температура | 1600°C |
Приложения:
- • Изоляторы опорной пластины мишени в системах PVD
- • Проходные изоляторы камеры
- • Кольцевые изоляторы экранирующего экрана в системах магнетронного распыления
- • Высоковольтная изоляция в плазменных камерах
Точность производства:
Концентричность: 0,01 мм, округлость: 0,002 мм, прямолинейность: 0,005 мм, перпендикулярность: 0,005 мм, проверено с помощью КИМ.
AПреимущества перед полимерными изоляторами:
- • Выдерживает температуру до 1600°C, в то время как предельная температура полимеров составляет <300°C.
- • Отсутствие выделения газов – сохраняет вакуумную целостность.
- • Устойчив к плазменной эрозии и химическому воздействию.
Настройка:
Доступны нестандартные поперечные сечения, варианты крепления, ступенчатые профили и различные конструкции концентрических колец.
