Керамическое кольцо из высокочистого оксида алюминия для камер процесса CVD/PVD.
Керамическое кольцо St.Cera специально разработано для использования в камерах процессов CVD (химическое осаждение из паровой фазы) и PVD (физическое осаждение из паровой фазы). Изготовленное из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) чистотой 99,8%, это кольцо служит в качестве облицовки камеры, фокусирующего кольца или компонента технологического комплекта для удержания плазмы и защиты стенок камеры от эрозии. Материал обладает превосходной плазмостойкостью, высокой диэлектрической прочностью (15×10⁶ В/м) и термической стабильностью до 1600°C, что обеспечивает длительный срок службы в агрессивных средах фторсодержащих плазменных растворов. Точные допуски по размерам (±0,05 мм по внутреннему/внешнему диаметру) и плоскостности (≤10 мкм) обеспечивают стабильное позиционирование краев пластины, улучшая равномерность осаждения и уменьшая образование частиц.
Технические характеристики (на основе 99,8% Al₂O₃):
| Свойство | Ценить |
| Материал | 99,8% оксид алюминия (цвет слоновой кости) |
| Плотность | 3,93 г/см³ |
| Водопоглощение | 0% |
| Прочность на изгиб | 361 МПа |
| Вязкость разрушения | 3–4 МПа·м¹/² |
| Твердость по Виккерсу | 16 ГПа |
| Модуль Юнга | 380 ГПа |
| Теплопроводность | 32 Вт/м·к |
| Тепловое расширение (25–1000 °C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Диэлектрическая прочность | 15×10⁶ В/м |
| Удельное сопротивление | >10¹⁴ Ом·см |
| Максимальная рабочая температура | 1600°C |
Приложения:
- • Фокусировочные кольца и краевые кольца камеры CVD
- • Кольца защиты камеры PVD и зажимные кольца
- • Вкладыши травильной камеры и кольца крышки
- • Кольца, ограничивающие плазму, в системах травления диэлектриков
Производственный процесс:
Изостатическое прессование → обработка заготовки → спекание при 1600°C → шлифовка внутренних и внешних поверхностей на станке с ЧПУ → притирка поверхности → ультразвуковая очистка → 100% контроль качества на координатно-измерительной машине. Сверхгладкая поверхность (Ra ≤0,4 мкм) минимизирует прилипание частиц.
Контроль качества:
- • 100% проверка размеров (внутренний диаметр, внешний диаметр, толщина, плоскостность)
- • Капиллярный контроль для выявления микротрещин на поверхности
- • Испытание на диэлектрическую прочность по стандарту ASTM D149
- • При увеличении 20× видимых изменений цвета или пористости не обнаружено.
Преимущества перед металлическими или кварцевыми кольцами:
- • В 5–10 раз больший срок службы, чем у алюминиевых колец во фторовой плазме.
- • Отсутствие примесей металлов в тонких пленках
- • Более высокая устойчивость к плазме, чем у кварца (отсутствие эрозионных ямок).
- • Сохраняет электрическую изоляцию >10¹⁴ Ом·см даже после длительного использования.
Альтернативный материал — нитрид кремния (Si).₃N₄):
Для применений, требующих еще более высокой трещиностойкости (6,2 МПа·м¹/²) и лучшей термостойкости (коэффициент теплового расширения 3,2×10⁻⁶/℃), доступны кольца из Si₃N₄. Однако для большинства применений CVD/PVD более экономически выгоден оксид алюминия. При заказе, пожалуйста, укажите предпочтительный материал.
Настройка:
- • Сквозные отверстия, ступенчатые профили или зенковки для монтажа
- • Поверхность с покрытием из Y₂O₃ для повышения устойчивости к плазме (опционально)
- • Лазерная гравировка номера детали / кода партии
Примечание:Приведенные выше данные строго соответствуют прилагаемой таблице свойств Al₂O₃. Для колец Si₃N₄ см. отдельную таблицу данных по Si₃N₄.
