ST.CERA Специализированное полупроводниковое керамическое фокусирующее кольцо
Изготовленные из высокочистой (более 99,5%) оксидной керамики на основе оксида алюминия, полученной методом холодного изостатического прессования и спеченной при высокой температуре, а затем подвергнутой прецизионной механической обработке и полировке, керамические запасные части, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования.
Благодаря таким свойствам, как высокая термостойкость, коррозионная стойкость, износостойкость и изоляционные характеристики, керамика может длительное время использоваться во многих видах оборудования для производства полупроводников в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
