Стандартный вакуумный патрон на основе оксида алюминия – высокая жесткость для прецизионной обработки.
Этот вакуумный зажим на основе оксида алюминия изготовлен из 99,8% Al₂O₃, что обеспечивает гладкую непористую поверхность с индивидуальной канавкой вакуумного зажима. Он обладает исключительной жесткостью (модуль Юнга 380 ГПа) и плоскостностью (≤3 мкм), что делает его идеальным для прецизионной шлифовки, притирки и нарезки полупроводниковых пластин и оптических компонентов. Высокая теплопроводность материала (32 Вт/м·К) обеспечивает равномерность температуры во время обработки.
Технические характеристики(на основе 99,8% алюминия)₂O₃):
| Свойство | Ценить |
| Материал | 99,8% оксид алюминия (цвет слоновой кости) |
| Плотность | 3,93 г/см³ |
| Прочность на изгиб | 361 МПа |
| Твердость по Виккерсу | 16 ГПа |
| Модуль Юнга | 380 ГПа |
| Теплопроводность | 32 Вт/м·к |
| Плоскость | ≤3 мкм (более 200 мм) |
| Шероховатость поверхности (со стороны патрона) | Ra ≤0,4 мкм |
| Максимальная рабочая температура | 800°C |
Приложения:
- • Шлифовка обратной стороны пластины (грубая и тонкая)
- • Точная нарезка хрупких материалов
- • Притирка керамических подложек
- • Полировка оптических линз
Производство:
Прецизионная притирка обеих сторон → алмазная обработка канавок (опционально) → закругление кромок → ультразвуковая очистка → 100% контроль плоскостности с помощью лазерного интерферометра.
Aпреимущества:
- • Жесткая опора минимизирует прогиб под нагрузкой.
- • Отсутствие образования частиц из-за пористой структуры
- • Легко чистится (совместимо с салфетками, смываемыми растворителем)
- • Вакуумные канавки настраиваются (концентрические, радиальные, пользовательские узоры).
Доступные размеры:
Круглые: 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм; квадратные/прямоугольные по запросу.
Мы также предлагаем варианты на основе металла для повышения механической прочности.
