Вакуумный зажим из пористой керамики на основе оксида алюминия для работы с тонкими пластинами.
Пористая подставка на основе оксида алюминия от компании St.Cera изготовлена из высокочистого Al₂O₃ (99,6%) с контролируемой открытой пористостью 30–45% и равномерным размером пор от 10 до 50 мкм. В отличие от подставок с канавками, пористая поверхность обеспечивает равномерное распределение вакуума по всей обратной стороне пластины, устраняя следы от кромок и позволяя бережно удерживать сверхтонкие (≤100 мкм) или деформированные пластины. Материал обладает прочностью на изгиб ≥250 МПа и термической стабильностью до 400 °C на воздухе.
Технические характеристики(на основе 99,6% Al)₂O₃):
| Свойство | Ценить |
| Материал | 99,6% оксид алюминия (белый) |
| Пористость | 30–45% (регулируемое значение) |
| Средний размер пор | 10–50 мкм |
| Прочность на изгиб | ≥250 МПа |
| Плотность | 3,88 г/см³ |
| Плоскостность (более 200 мм) | ≤5 мкм |
| Максимальная рабочая температура | 400 °C (воздух) |
| Отделка поверхности | Притертый (Ra ≤0,8 мкм) |
Приложения:
- · Шлифовка обратной стороны тонких пластин (≤50 мкм)
- • Деформированное крепление пластины для нарезки
- • Захват отдельных кристаллов
- • Работа со стеклянными подложками
Производство:
Порошок, смешанный с порообразователями → изостатическое прессование → спекание при 1600 °C → притирка до конечной толщины. Каждый зажим проверяется на равномерность вакуума (отклонение давления <5%) и исследуется на распределение размеров пор (СЭМ).
Преимущества перед обычными патронами:
- • Отсутствие маркировки обратной стороны пластины или смещения штампа.
- • Удерживает пластины с изгибом до 500 мкм.
- • Самоочищающаяся поверхность (поры предотвращают засорение)
- • Равномерная поддержка устраняет локальное напряжение.
Cперсонализация:
Круглая или квадратная форма, диаметр 100–450 мм. Для зонального регулирования вакуума доступно уплотнительное кольцо по кромке.
Запросите образец нужного вам размера пластины.
