Керамический концевой захват с тефлоновым покрытием – антипригарная поверхность для деликатной работы с кремниевыми пластинами.
Керамический концевой захват St.Cera с тефлоновым (ПТФЭ) покрытием сочетает в себе высокопрочную алюминиевую подложку с равномерным ПТФЭ-покрытием с низким коэффициентом трения (толщина 15–30 мкм). Покрытие обеспечивает чрезвычайно низкий коэффициент трения (≤0,1), превосходную химическую стойкость и антипригарные свойства, предотвращая прилипание пластин и исключая загрязнение обратной стороны. Подложка из керамики (99,8% Al₂O₃) обладает высокой прочностью на изгиб (361–1000 МПа), износостойкостью и термической стабильностью до 260°C (предел покрытия). Этот концевой захват идеально подходит для работы с деликатными, тонкими или липкими пластинами (например, после нанесения фоторезиста или химических процессов).
Технические характеристики (на основе подложки из 99,8% Al₂O₃ с покрытием из ПТФЭ):
| Свойство | Ценить |
| Материал подложки | 99,8% оксид алюминия (цвет слоновой кости) |
| Материал покрытия | ПТФЭ (тефлон) |
| Толщина покрытия | 15–30 мкм |
| Коэффициент трения (с покрытием) | ≤0,1 |
| Прочность основания на изгиб (Al₂O₃) | 361 МПа |
| Твердость подложки (Al₂O₃) | 16 ГПа |
| Плотность субстрата | 3,93 г/см³ |
| Максимальная рабочая температура (предельная температура покрытия) | 260°C |
| Шероховатость поверхности (до нанесения покрытия) | Ra ≤0,4 мкм |
| Диэлектрическая прочность (подложки) | 15×10⁶ В/м |
Примечание: покрытие из ПТФЭ ограничивает максимальную температуру до 260 °C; для более высоких температур следует рассмотреть возможность использования непокрытых керамических или других покрытий.
Приложения:
- • Обработка кремниевых пластин после нанесения фоторезиста (липкие поверхности)
- • Перенос тонких или хрупких пластин (предотвращает слипание).
- • Инструменты для контроля и метрологии полупроводниковых изделий
- • Автоматизация чистых помещений, где необходимо свести к минимуму загрязнение частицами.
Производственный процесс:
Керамическая подложка спекается и прецизионно шлифуется → шерохование поверхности (плазменное травление или пескоструйная обработка) → нанесение покрытия из ПТФЭ методом напыления → термообработка при 380°C → окончательная проверка. Толщина покрытия каждого концевого захвата проверяется (вихретоковым методом), адгезия (методом поперечного разреза ASTM D3359) и коэффициент трения.
Контроль качества:
100% визуальный осмотр на наличие микропор или пузырьков; равномерность толщины покрытия в пределах ±5 мкм; отсутствие расслоения после испытания на изгиб под углом 90° на контрольном образце. Проверка размеров в соответствии с допусками производителя (длина ±0,05 мм, плоскостность ≤0,1 мм).
Преимущества перед непокрытыми или другими покрытиями:
- • Антипригарное покрытие предотвращает слипание и поломку пластин.
- • Самый низкий коэффициент трения среди керамических покрытий.
- • Превосходная химическая стойкость (к кислотам, щелочам, растворителям)
- • Снижает образование частиц за счет предотвращения переноса материала.
Ограничения (примечания о существенных отклонениях):
Свойства покрытия из ПТФЭ не определены на основе предоставленных таблиц свойств материалов (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Свойства подложки строго соответствуют данным из прилагаемой технической документации (99,8% Al₂O₃). Свойства покрытия основаны на стандартных отраслевых спецификациях ПТФЭ, поскольку данные о свойствах покрытия не были предоставлены. Для применений, превышающих 260°C, рекомендуется использовать керамический концевой захват без покрытия.*
Настройка:
Доступны варианты длиной 150–1500 мм, с различными формами наконечника (захват кромкой, Бернулли, плоский), а также с монтажными фланцами по чертежам производителя. Возможно частичное покрытие (только контактные зоны) или полное покрытие (опционально).
Запросите образец для испытаний на адгезию и трение.
