Прецизионный манипулятор для работы с керамическими пластинами из оксида алюминия и полупроводниковой керамики.
Краткое описание:
Благодаря таким свойствам, как высокая термостойкость, коррозионная стойкость, износостойкость и изоляционные характеристики, керамика может длительное время использоваться во многих видах оборудования для производства полупроводников в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.