Керамический опорный штифт для оснастки в полупроводниковых процессах
Керамические опорные штифты St.Cera (также известные как подъемные штифты или опорные штифты) используются в камерах для обработки полупроводниковых материалов для приподнимания пластин или подложек во время обработки, нагрева или охлаждения. Изготовленные из 99,8% оксида алюминия или нитрида кремния, эти штифты обладают высокой прочностью на сжатие, термической стабильностью и химической стойкостью. Полусферическая или плоская форма наконечника предотвращает царапание пластин.
Технические характеристики(Оглинозем 99,8%):
| Свойство | Ценить |
| Материал | 99,8% Al₂O₃ или Si₃N₄ |
| Длина | 10–100 мм |
| Диаметр | 1–10 мм |
| Форма кончика | Плоский, полусферический, заостренный |
| Прочность на сжатие (Al₂O₃) | >2000 МПа |
| Максимальная рабочая температура (Al₂O₃) | 1600°C |
| Отделка поверхности | Притертый (Ra ≤0,4 мкм) |
| Допуск по диаметру | ±0,01 мм |
Приложения:
Подъемные штифты в камерах CVD/PVD
Опорные штифты для выпечки на горячей плите
Опорные конструкции для зондовых плат
Кварцевая печь, опоры для лодок
Производство:
Прецизионная бесцентровая шлифовка наружного диаметра → алмазная шлифовка профиля наконечника → ультразвуковая очистка → 100% контроль размеров.
Контроль качества:
Измерения длины/диаметра с помощью координатно-измерительной машины (КИМ), радиуса наконечника с помощью оптического компаратора, испытания на прочность при сжатии (случайная выборка из каждой партии). Отсутствие ферромагнитного загрязнения (проверено с помощью магнита).
Преимущества перед металлическими или кварцевыми штифтами:
В 5 раз больший срок службы, чем у нержавеющей стали.
В технологической камере отсутствует загрязнение металлами.
Более высокая термостойкость, чем у кварца (1600°C против 1100°C).
Антипригарное покрытие (сниженное прилипание частиц)
Настройка:
Различные варианты профиля наконечника, резьбовое основание или конический вал.
Мы также поставляем SiC-штыри для работы в экстремальных плазменных средах.
