Газораспределительная пластина из оксида алюминия для душевой лейки, изготовленной методом CVD/PVD.
Газораспределительная пластина (насадка для душа) компании St.Cera изготовлена методом высокоточной механической обработки из высокочистой 99,8% оксида алюминия. Она имеет массив микроотверстий (диаметром 0,3–1,5 мм), обеспечивающих равномерный поток газа по поверхности пластины во время процессов CVD, PVD или ALD. Высокая диэлектрическая прочность пластины (>15×10⁶ В/м) и сопротивление плазме делают ее незаменимой для осаждения полупроводниковых тонких пленок.
Технические характеристики:
| Свойство | Ценить |
| Материал | 99,8% Al₂O₃ или SiC |
| Диаметр | 100–1500 мм (круглые) или прямоугольные |
| Толщина | 5–20 мм |
| Диаметр отверстия | 0,3 – 1,5 мм |
| Схема расположения отверстий | Пользовательские (треугольные, квадратные, радиальные) |
| Плоскость | ≤10 мкм по всей площади |
| Шероховатость поверхности | Ra ≤0,6 мкм (со стороны газа) |
| Коэффициент открытой площади | 5–15% |
Приложения:
Пластины для душевых леек, изготовленные методом PECVD
форсунки газа ALD
Пластины для распределения газа в камере травления
компоненты реактора MOCVD
Производство:
Притирка алюминиевой подложки до плоского состояния → Сверление на станке с ЧПУ с алмазным покрытием (допуск на положение отверстия ±0,02 мм) → Удаление заусенцев → Ультразвуковая очистка → Упаковка в соответствии со стандартами класса 100.
Контроль качества:
Каждая пластина проходит 100% проверку на размер отверстий (система технического зрения), плоскостность (лазерный интерферометр) и равномерность газового потока (картирование давления). Микротрещины не обнаруживаются под микроскопом с 20-кратным увеличением.
Преимущества перед металлическими пластинами:
Отсутствие металлических примесей в тонких пленках
Сниженное образование частиц (отсутствие коррозионных хлопьев)
Выдерживает агрессивную плазменную очистку (CF₄, NF₃).
Дополнительные функции:
Газовые каналы с обратной стороны, зенкованные отверстия, краевые уплотнения и различные марки материалов (SiC для более высокой теплопроводности, покрытие Y₂O₃ для устойчивости к плазме).
Мы предоставляем услуги по верификации в САПР и моделированию технологических процессов перед началом производства.
