Алюмокерамические компоненты, защищенные от электростатического разряда, для работы с чувствительными к статическому электричеству кремниевыми пластинами.
Керамические детали из оксида алюминия, безопасные для защиты от электростатического разряда (ESD), производства St.Cera изготавливаются из высокочистого Al₂O₃ (99,8%) с заданным удельным сопротивлением поверхности 10⁶–10⁹ Ом/кв, достигаемым с помощью запатентованного процесса легирования или нанесения покрытия. Эти детали эффективно рассеивают статический заряд, предотвращая электростатическое повреждение чувствительных полупроводниковых пластин и устройств. Основной материал сохраняет свою высокую прочность на изгиб (361 МПа), твердость (16 ГПа) и диэлектрическую прочность (15×10⁶ В/м). К безопасным для ESD керамическим деталям относятся концевые захваты, подъемные штифты, направляющие и специальные приспособления для автоматизации FAB.
Технические характеристики(на основе 99,8% Al₂O₃ с обработкой ESD):
| Свойство | Ценить |
| Базовый материал | 99,8% оксида алюминия |
| Поверхностное сопротивление (ESD) | 10⁶–10⁹ Ом/кв. |
| Плотность | 3,93 г/см³ |
| Прочность на изгиб | 361 МПа |
| Твердость по Виккерсу | 16 ГПа |
| Модуль Юнга | 380 ГПа |
| Тепловое расширение (25-1000 °C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Максимальная рабочая температура | 800°C |
| Диэлектрическая прочность (объемная) | 15×10⁶ В/м |
Примечание: удельное сопротивление поверхности при электростатическом разряде не указано в прилагаемых таблицах свойств материала. Приведенный выше диапазон является отраслевым стандартом для диссипативной керамики. Для получения протоколов испытаний, пожалуйста, свяжитесь с нами.
Приложения:
● Электростатические защитные концевые захваты для переноса пластин
● Заземляющие контакты и устройства защиты от электростатического разряда в оборудовании FAB
● Тестовые розетки для устройств, чувствительных к статическому электричеству
● Инструменты для чистых помещений, где критически важен контроль статического электричества.
Производство и качество:
Стандартная обработка оксидом алюминия + обработка поверхности электростатическим разрядом → удельное сопротивление поверхности измеряется в соответствии со стандартом ANSI/ESD STM11.11. Каждая деталь проходит 100% тестирование с помощью концентрического кольцевого электрода.
Преимущества:
● Предотвращает потери выхода годной продукции, связанные с электростатическим разрядом.
● Сохраняет механическую прочность и химическую стойкость керамики.
● Отсутствие образования частиц при статическом разряде
