Уплотнительное кольцо из высокочистой оксида алюминия для герметизации высокотемпературных камер.
Керамическое уплотнительное кольцо St.Cera разработано как альтернатива полимерным уплотнительным кольцам в экстремальных условиях, где эластомеры деградируют. Изготовленное из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) чистотой 99,8%, это жесткое уплотнительное кольцо используется в статических герметизирующих системах — обычно в паре с мягкой металлической или графитовой прокладкой — для обеспечения надежного вакуума или удержания газа при температурах до 800°C и в агрессивных плазменных или химических средах. Материал отличается нулевым выделением газов, высокой прочностью на сжатие (предел прочности на изгиб 361 МПа) и химической инертностью (устойчив к галогенам, кислотам и щелочам, за исключением HF). Прецизионно притертые уплотнительные поверхности (плоскостность ≤5 мкм, шероховатость поверхности Ra ≤0,2 мкм) обеспечивают герметичный контакт с сопрягаемыми металлическими или керамическими компонентами.
Технические характеристики(на основе 99,8% алюминия)₂O₃):
| Свойство | Ценить |
| Материал | 99,8% оксид алюминия (цвет слоновой кости) |
| Плотность | 3,93 г/см³ |
| Водопоглощение | 0% |
| Прочность на изгиб | 361 МПа |
| Прочность на сжатие (оценка) | >2000 МПа |
| Твердость по Виккерсу | 16 ГПа |
| Тепловое расширение (25–1000 °C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Максимальная рабочая температура | 800 °C (воздух), 1600 °C (инертный воздух) |
| Отделка поверхности (герметизирующая поверхность) | Ra ≤0,2 мкм (шлифовка) |
| Плоскостность (на каждые 25 мм) | ≤5 мкм |
| Скорость утечки гелия | <1×10⁻¹⁰ Па·м³/с (с соответствующей прокладкой) |
Приложения:
- • Статические уплотнения камер для полупроводниковых технологических процессов (CVD, PVD, травление)
- • Уплотнители дверцы высокотемпературной печи
- • Вакуумные проходные фланцы
- • Затворы химических реакторов
Производственный процесс:
Изостатическое прессование → спекание при 1600°C → прецизионная двусторонняя притирка для получения сверхплоских, гладких уплотнительных поверхностей → снятие фаски с кромки → ультразвуковая очистка. Каждое кольцо проходит 100% проверку на герметичность с помощью гелиевого течеискателя со стандартной металлической прокладкой.
Контроль качества:
- • Контроль размеров на координатно-измерительной машине (внутренний диаметр, внешний диаметр, толщина, параллельность).
- • Профилометр поверхности для измерения радиального шероховатости (Ra) и волнистости.
- • Измерение плоскостности с помощью оптической плоскостности
- • Проверка на герметичность с помощью гелия (метод обратного давления)
Преимущества перед полимерными уплотнительными кольцами:
- · Выдерживает температуру 800°C по сравнению с <300°C для FFKM
- • Отсутствие газовыделения — отсутствие загрязнения вакуумной среды.
- • Устойчив ко всем видам плазменной химии (фтор, хлор, кислород).
- • Отсутствие остаточной деформации или остаточной деформации
- • Неограниченный срок службы в чистых условиях
Ограничения (важные замечания):
- · Не уплотнительное кольцо— Это жесткое керамическое кольцо, для герметизации которого необходима мягкая прокладка (из меди, алюминия или графита).
- • Не допускает динамических движений или значительного смещения фланцев.
- • Более высокая первоначальная стоимость по сравнению с полимерными уплотнительными кольцами, но более длительный срок службы снижает эксплуатационные расходы.
- • Хрупкий — обращайтесь с осторожностью; избегайте точечных ударов и изгибающих нагрузок.
Примечание:Приведенные выше данные строго соответствуют таблице свойств Al₂O₃. Данные по эластомерным материалам не предоставлены. Данное изделие представляет собой статическое уплотнительное кольцо, а не эластомерное уплотнительное кольцо. Пожалуйста, подтвердите, соответствует ли оно требованиям вашего применения.
