Крупноформатные керамические пластины из оксида алюминия для полупроводниковой и промышленной арматуры.
Компания St.Cera производит крупноформатные керамические пластины из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) чистотой 99,8% с максимальными размерами до 1500 мм в длину и 600 мм в ширину. Благодаря возможностям прецизионной шлифовки достигается плоскостность 0,003 мм на 100 мм и параллельность 0,002 мм, что обеспечивает стабильное качество поверхности для крупногабаритных применений. Толщина до 100 мм, шероховатость поверхности до Ra0,1. Эти пластины используются в качестве оснований вакуумных зажимов, нагревательных плит, электроизоляционных панелей и днищ технологических камер в полупроводниковой, дисплейной и фотоэлектрической промышленности. Возможна обработка сквозных отверстий, зенковка и профилирование кромок.
Технические характеристики (на основе 99,8% алюминия)₂O₃(и производственные возможности компании St. Cera):
| Свойство | Ценить |
| Материал | 99,8% оксид алюминия (цвет слоновой кости) |
| Плотность | 3,93 г/см³ |
| Прочность на изгиб | 361 МПа |
| Твердость по Виккерсу | 16 ГПа |
| Диэлектрическая прочность | 15×10⁶ В/м |
| Максимальная длина | 1500 мм |
| Максимальная ширина | 600 мм |
| Максимальная толщина | 100 мм |
| Плоскостность (на 100 мм) | 0,003 мм |
| Параллелизм | 0,002 мм |
| Отделка поверхности | Ra0.1 (притерто/отполировано) |
| Максимальная рабочая температура | 1600°C |
Приложения:
- • Опорные пластины вакуумного зажима для больших пластин и панелей
- • Нагревательные плиты для оборудования термической обработки
- • Электроизоляционные панели в высоковольтных системах
- • Полы и облицовочные плиты технологических камер
Точность производства:
Прямолинейность: 0,005 мм, перпендикулярность: 0,005 мм, проверено с помощью лазерного интерферометра.
Преимущества перед металлическими пластинами:
- • Отсутствие металлических примесей – критически важно для полупроводниковых процессов.
- • Отсутствие газовыделения – идеально подходит для вакуумной среды.
- • Превосходная износостойкость и химическая стойкость
Настройка:
Возможны индивидуальные схемы расположения отверстий, профили кромок, ступенчатые поверхности и металлизированные монтажные площадки.
