Высокочистый керамический манипулятор из оксида алюминия для работы с кремниевыми пластинами

Каркасная рука робота St.Cera из оксида алюминия изготовлена ​​с высокой точностью из высокочистого Al₂O₃ (оксида алюминия) с содержанием 99,8%. Она сочетает в себе исключительную прочность на изгиб (361 МПа), высокую твердость (16 ГПа) и низкую плотность (3,93 г/см³), что обеспечивает легкость и жесткость руки для переноса полупроводниковых пластин. Коэффициент теплового расширения материала (7,2×10⁻⁶/°C) практически совпадает с коэффициентом теплового расширения кремния, что минимизирует тепловое несоответствие в процессе обработки.

Технические характеристики (на основе 99,8% Al₂O₃):

Приложения:

- Роботы для вакуумной транспортировки кремниевых пластин (200 мм/300 мм)

- Системы обработки атмосферы

- Захватные манипуляторы для автоматизации FAB

Производственный процесс:

Изостатическое прессование → обработка заготовки → спекание при 1600°C → прецизионная шлифовка на станке с ЧПУ → ультразвуковая очистка → упаковка в чистом помещении класса 100. Каждая деталь проходит 100% проверку на плоскостность (±0,01 мм) и шероховатость поверхности (Ra ≤0,4 мкм) с помощью координатно-измерительной машины (КИМ).

Контроль качества:

Компания St.Cera сертифицирована по стандарту ISO 9001:2015. Мы проводим капиллярный контроль для выявления микротрещин, трехточечный изгиб для определения прочности на изгиб и испытания на диэлектрическую прочность в соответствии со стандартом ASTM D149.

Преимущества перед металлическими рычагами:

- На 50% легче нержавеющей стали

- Отсутствие гальванической коррозии

- Более низкое образование частиц (≤0,05 частиц/см²)

- Доступно покрытие, защищающее от электростатического разряда (10⁶–10⁹ Ом/кв.)

Настройка:

Длина от 150 мм до 450 мм, форма наконечника (захват кромкой, Бернулли, вакуумный) и схема расположения монтажных фланцев в соответствии с чертежами производителя. Изготовление прототипов за 2 недели.

Для оптовых заказов, пожалуйста, запросите ценовое предложение.