Керамический концевой захват из карбида кремния (SiC) – высокая жесткость для работы с высокотемпературными пластинами.
Керамический концевой захват из карбида кремния (SiC) компании St.Cera изготовлен из высокочистого карбида кремния (содержание SiC 99,72%, свободного Si 0,05%) с использованием материала партии S1111. Он обладает исключительными механическими свойствами: прочность на изгиб 449 МПа (измеренная), модуль упругости 457 ГПа (измеренный) и твердость по Виккерсу 25–28 ГПа (типичная). Низкая плотность (3,10–3,15 г/см³, типичная) обеспечивает высокую удельную жесткость, идеально подходящую для высокоскоростных роботов для переноса пластин. Благодаря теплопроводности 120–150 Вт/м·К (типичная) и коэффициенту теплового расширения 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (типичная), этот концевой захват эффективно рассеивает тепло и сохраняет стабильность размеров при работе при высоких температурах (до 1600–1700 °C, без нагрузки). Черно-серый цвет и нулевое водопоглощение обеспечивают совместимость с чистыми помещениями.
Технические характеристики(на основе предоставленного отчета об испытаниях SiC S1111 и типичных значений)):
| Свойство | Ценить |
| Материал | SiC (99,72% SiC, 0,05% свободного Si) |
| Цвет | Черный/Серый |
| Плотность | 3,10–3,15 г/см³ |
| Водопоглощение | 0% |
| Прочность на изгиб | 449 МПа (в среднем) |
| Вязкость разрушения | 3,12 МПа·м¹/² (в среднем) |
| Модуль упругости | 457 ГПа |
| Твердость по Виккерсу | 25–28 ГПа |
| Теплопроводность (25 °C) | 120–150 Вт/м·К |
| КТР (25–1000 °C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Максимальная рабочая температура (без нагрузки) | 1600–1700 °C |
Приложения:
● Обработка пластин при высоких температурах (последующий отжиг, RTP, эпитаксия)
● Камеры плазменного травления, требующие высокой устойчивости к эрозии
● Высокоскоростные роботы для перемещения грузов (легкие, с высокой жесткостью)
Производство:
Спекание порошка SiC → прецизионная шлифовка профиля рычага и элементов крепления на станке с ЧПУ → притирка поверхности → ультразвуковая очистка. 100% контроль размеров и проверка герметичности гелием для вакуумных применений.
Контроль качества:
● Контроль длины, ширины и плоскостности с помощью координатно-измерительной машины (КИМ).
● Испытание на прочность при изгибе для каждой партии (согласно стандарту протокола испытаний)
● Визуальный осмотр под микроскопом на наличие дефектов поверхности
Преимущества перед оксидом алюминия или металлом:
● В 2 раза более высокий модуль упругости (457 против ~380 ГПа для оксида алюминия) – меньшая деформация
● В 3 раза более высокая теплопроводность – более быстрое рассеивание тепла
● Выдерживает температуру >1600°C по сравнению с 800°C у оксида алюминия на воздухе
● Более низкая плотность, чем у стали – снижение веса на 40%
Настройка:
Длина 150–450 мм, форма наконечника (захват кромкой, Бернулли, плоский), схема расположения монтажных фланцев согласно чертежу производителя.
*Все приведенные выше механические данные взяты из предоставленного протокола испытаний (партия S1111). Значения термической стойкости и твердости являются типичными для данного сорта SiC; для получения сертификата, специфичного для данной партии, пожалуйста, свяжитесь с нами.*
