Специально разработанный вакуумный захват из оксида алюминия от компании ST.CERA

Краткое описание:

Это керамический манипулятор/манипулятор лоткового типа, используемый в условиях вакуума.

Керамический концевой захват/манипулятор обладает большей термостойкостью, меньшей склонностью к отклонению и меньшим весом по сравнению с металлическими аналогами.

Благодаря таким свойствам, как высокая термостойкость, коррозионная стойкость, износостойкость и изоляционные характеристики, керамика может длительное время использоваться во многих видах оборудования для производства полупроводников в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.

Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.