12-дюймовый вакуумный зажим из оксида алюминия для обработки 300-мм пластин
12-дюймовый вакуумный зажим St.Cera изготовлен с высокой точностью из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) с чистотой 99,8% и предназначен для работы с 300-мм пластинами. Зажим имеет мелкоканавочную поверхность (ширина канавок 0,5–1,0 мм, шаг 2–3 мм) для обеспечения равномерного распределения вакуума по всему диаметру 300 мм. Плоскостность сохраняется в пределах 5 мкм, что позволяет фиксировать пластины без деформации во время нарезки, шлифовки обратной стороны и контроля качества. Высокая прочность на изгиб (361 МПа) и твердость (16 ГПа) материала гарантируют долговременную стабильность размеров даже при многократных циклах вакуумирования.
Технические характеристики (на основе 99,8% Al₂O₃):
| Свойство | Ценить |
| Диаметр | 300 мм (12 дюймов) |
| Материал | 99,8% оксид алюминия (цвет слоновой кости) |
| Плотность | 3,93 г/см³ |
| Прочность на изгиб | 361 МПа |
| Твердость по Виккерсу | 16 ГПа |
| Плоскостность (более 300 мм) | ≤5 мкм |
| Ширина канавки | 0,5–1,0 мм |
| Максимальная рабочая температура | 800°C |
| Диэлектрическая прочность | 15×10⁶ В/м |
Приложения:
Резка и разметка пластин диаметром 300 мм
Шлифовка обратной стороны пластины (тонкая опора для пластины)
Оптический осмотр и зондирование
Временные зажимные приспособления для склеивания/разклеивания
Производство:
Заготовки шлифуются и притираются на станке с ЧПУ до окончательной плоскостности, нарезаются канавки алмазными кругами, очищаются ультразвуком и упаковываются в чистом помещении класса 100. Каждая заготовка проходит 100% проверку на плоскостность (лазерный интерферометр) и глубину канавок (профилометр).
Преимущества:
Низкая скорость образования частиц (≤0,05 частиц/см²)
Химически инертен к растворителям и кислотам
Поверхность, устойчивая к электростатическому разряду (удельное сопротивление >10¹³ Ом·см)
Возможны индивидуальные схемы расположения вакуумных отверстий и портов на задней стороне.
