-
Высокочистый керамический манипулятор из оксида алюминия для работы с кремниевыми пластинами
Каркасная рука робота St.Cera из оксида алюминия изготовлена с высокой точностью из высокочистого Al₂O₃ (оксида алюминия) с содержанием 99,8%. Она сочетает в себе исключительную прочность на изгиб (361 МПа), высокую твердость (16 ГПа) и низкую плотность (3,93 г/см³), что обеспечивает легкость и жесткость руки для переноса полупроводниковых пластин. Коэффициент теплового расширения материала (7,2×10⁻⁶/°C) практически совпадает с коэффициентом теплового расширения кремния, что минимизирует тепловое несоответствие в процессе обработки.
-
Керамический концевой захват Бернулли — бесконтактная обработка тонких и хрупких пластин.
Керамический концевой захват Бернулли от St.Cera использует аэродинамическую подъемную силу для бесконтактной обработки пластин. Изготовленный из высокочистого 99,8% оксида алюминия (Al₂O₃) или карбида кремния (SiC), он оснащен прецизионно обработанными соплами, которые подают сжатый газ, создавая тонкую воздушную пленку между концевым захватом и пластиной. Этот бесконтактный принцип исключает загрязнение обратной стороны, сколы по краям и повреждение поверхности, что делает его идеальным для тонких (≤100 мкм), хрупких или деформированных пластин. Керамическая подложка обеспечивает высокую прочность на изгиб (361 МПа для Al₂O₃; до 550–600 МПа для SiC), малую массу и превосходную стабильность размеров, гарантируя повторяемое позиционирование в высокоскоростных роботах для переноса пластин.
-
Керамический концевой захват с тефлоновым покрытием – антипригарная поверхность для деликатной работы с кремниевыми пластинами.
Керамический концевой захват St.Cera с тефлоновым (ПТФЭ) покрытием сочетает в себе высокопрочную алюминиевую подложку с равномерным ПТФЭ-покрытием с низким коэффициентом трения (толщина 15–30 мкм). Покрытие обеспечивает чрезвычайно низкий коэффициент трения (≤0,1), превосходную химическую стойкость и антипригарные свойства, предотвращая прилипание пластин и исключая загрязнение обратной стороны. Подложка из керамики (99,8% Al₂O₃) обладает высокой прочностью на изгиб (361–1000 МПа), износостойкостью и термической стабильностью до 260°C (предел покрытия). Этот концевой захват идеально подходит для работы с деликатными, тонкими или липкими пластинами (например, после нанесения фоторезиста или химических процессов).
