Высокочистый керамический концевой захват из оксида алюминия для роботов, предназначенных для работы с кремниевыми пластинами.
Алюмокерамический концевой захват St.Cera изготовлен с высокой точностью из высокочистого Al₂O₃ (99,8%) с использованием современного 5-осевого шлифовального оборудования с ЧПУ. Наши производственные возможности включают в себя прецизионные шлифовальные станки и обрабатывающие центры с ЧПУ, что позволяет создавать сложные геометрические формы с высокой точностью. Концевой захват имеет тонкий профиль (толщиной всего 1,5 мм) с конической передней кромкой для плавной установки пластины. Материал обеспечивает высокую жесткость (модуль Юнга 380 ГПа), превосходную износостойкость и термическую стабильность до 800 °C. Каждая деталь подвергается прецизионной шлифовке для достижения плоскостности 0,003 мм, параллельности 0,002 мм и чистоты поверхности Ra0,1, что обеспечивает стабильный контакт с пластиной и работу без частиц в полупроводниковых производственных цехах. Доступны варианты длиной от 150 мм до 450 мм, с индивидуальной геометрией наконечника (захват кромкой, Бернулли, плоский) и монтажными фланцами для установки на OEM-роботы. Варианты обработки поверхности включают шлифовку, полировку или антистатическое покрытие (10⁶–10⁹ Ом/кв).
Технические характеристики (на основе 99,8% алюминия)₂O₃(и производственные возможности компании St. Cera):
| Свойство | Ценить |
| Материал | 99,8% оксид алюминия (цвет слоновой кости) |
| Плотность | 3,93 г/см³ |
| Прочность на изгиб | 361 МПа |
| Твердость по Виккерсу | 16 ГПа |
| Модуль Юнга | 380 ГПа |
| Плоскость | 0,003 мм |
| Параллелизм | 0,002 мм |
| Отделка поверхности | Ra0.1 (шлифовка/полировка) |
| Максимальная рабочая температура | 800°C |
| Диапазон длины | 150–450 мм |
Приложения:
- • Перенос пластин в вакууме и с использованием роботов, работающих в атмосферных условиях.
- • Автоматизированные концевые захваты для обработки кремниевых пластин диаметром 200 мм/300 мм на фабрике.
- • Обработка тонких пластин (с опцией защиты от электростатического разряда)
Производственные возможности:
Наши прецизионные шлифовальные станки и обрабатывающие центры с ЧПУ позволяют производить сложные керамические компоненты, обладающие следующими характеристиками:
- • Максимальная длина обработки: 1500 мм
- • Максимальный внешний диаметр: 600 мм
- • Минимальный внутренний диаметр: 0,2 мм
- • Максимальная толщина: 100 мм
Контроль качества:
Прямолинейность 0,005 мм, перпендикулярность 0,005 мм, округлость 0,002 мм, параллельность 0,002 мм, концентричность 0,01 мм проверены с помощью КИМ. Каждое изделие проходит ультразвуковую очистку и упаковывается в чистом помещении класса 100.
