Вакуумный патрон из оксида алюминия для прецизионной нарезки и шлифовки.
Вакуумный зажим из оксида алюминия от St.Cera изготовлен из высокочистого Al₂O₃ (99,8%) с прецизионно обработанными вакуумными канавками. Благодаря возможности прецизионной шлифовки достигается плоскостность 0,003 мм и параллельность 0,002 мм, что обеспечивает фиксацию пластин без деформации во время нарезки, шлифовки обратной стороны и контроля качества. Материал обладает высокой прочностью на изгиб (361 МПа), твердостью (16 ГПа) и термической стабильностью до 800 °C. Доступны круглые заготовки с внешним диаметром до 600 мм и прямоугольные заготовки длиной до 1500 мм. Вакуумные канавки разрабатываются индивидуально (концентрические, радиальные или сетчатые) в соответствии с конкретными технологическими требованиями. Каждый зажим проверяется лазерным интерферометром и поставляется с отчетом о проверке плоскостности.
Технические характеристики (на основе 99,8% алюминия)₂O₃(и производственные возможности компании St. Cera):
| Свойство | Ценить |
| Материал | 99,8% оксид алюминия (цвет слоновой кости) |
| Плотность | 3,93 г/см³ |
| Прочность на изгиб | 361 МПа |
| Твердость по Виккерсу | 16 ГПа |
| Внешний диаметр (макс.) | 600 мм |
| Толщина (макс.) | 100 мм |
| Длина (макс.) | 1500 мм |
| Плоскость | 0,003 мм |
| Параллелизм | 0,002 мм |
| Отделка поверхности | Ra0.1 |
| Максимальная рабочая температура | 800°C |
Приложения:
- • Нарезка и разметка пластин (200 мм/300 мм и более)
- • Шлифовка обратной стороны тонких пластин
- • Оптический осмотр и зондирование
- • Обработка крупногабаритных субстратов
Точность производства:
- · Прямолинейность: 0,005 мм
- · Перпендикулярность: 0,005 мм
- · Округленность: 0,002 мм
- • Соосность: 0,01 мм
