Высокочистые керамические детали из оксида алюминия для полупроводниковой и промышленной отраслей.
Компания St.Cera производит прецизионно обработанные керамические детали из оксида алюминия (Al₂O₃) по спецификациям заказчика. Используя высокочистый оксид алюминия (99,8%), эти компоненты обладают превосходной прочностью на изгиб (361 МПа), высокой твердостью (16 ГПа) и выдающейся диэлектрической прочностью (15×10⁶ В/м). Разработанный для полупроводникового оборудования, износостойких узлов, электрических изоляторов и высокотемпературных приспособлений, этот материал имеет практически нулевое водопоглощение (0%) и коэффициент теплового расширения 7,2×10⁻⁶/℃, обеспечивая стабильность размеров в экстремальных условиях.
Технические характеристики(на основе 99,8% Al)₂O₃):
Свойство | Ценить |
| Материал | 99,8% оксид алюминия (цвет слоновой кости) |
| Плотность | 3,93 г/см³ |
| Прочность на изгиб | 361 МПа |
| Вязкость разрушения | 3–4 МПа·м¹/² |
| Твердость по Виккерсу | 16 ГПа |
| Модуль Юнга | 380 ГПа |
| Теплопроводность | 32 Вт/м·к |
| Тепловое расширение (25–1000 °C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Диэлектрическая постоянная | 9.6 |
| Угол диэлектрических потерь | 0,0001 |
| Диэлектрическая прочность | 15×10⁶ В/м |
| Удельное сопротивление | >10¹⁴ Ом·см |
| Максимальная рабочая температура | 1600°C |
Приложения:
- • Вкладыши, смотровые окна и газораспределительные пластины камер для полупроводниковых технологических процессов
- • Износостойкие втулки, уплотнительные кольца и шарики подшипников
- • Высоковольтные электрические изоляторы и изоляторы свечей зажигания
- • Крепежные элементы печи, опоры нагревателей и трубки защиты термопар.
Производственный процесс:
Изостатическое прессование → обработка заготовки → спекание при 1600°C → прецизионная шлифовка/притирка на станках с ЧПУ → ультразвуковая очистка → 100% контроль размеров на координатно-измерительной машине. Регулярно достигаются сложные геометрические формы, тонкие стенки (≥0,5 мм) и жесткие допуски (до ±0,01 мм).
Контроль качества:
Сертифицировано по стандарту ISO 9001:2015. Каждая партия проходит испытания на прочность на изгиб (трехточечный изгиб), твердость (по Виккерсу), диэлектрическую прочность (ASTM D149) и термостойкость (10 циклов, 25°C ↔ 1000°C). При 20-кратном увеличении не обнаружено трещин или сколов.
Преимущества перед металлическими или полимерными деталями:
- • В 3–5 раз тверже нержавеющей стали (16 ГПа против ~2 ГПа)
- • Химически инертный — устойчив к кислотам, щелочам и галогенам (кроме HF).
- • Электрический изолятор с сопротивлением >10¹⁴ Ом·см, что позволяет использовать его в условиях высокого напряжения.
- • Непрерывная работа при температурах до 1600 °C, что значительно превышает пределы возможностей металлов и пластмасс.
Настройка:
Мы принимаем чертежи заказчика (формат STEP/IGS) и предлагаем быстрое прототипирование (2–3 недели). Детали могут поставляться в спеченном, шлифованном, притертом или полированном виде (Ra ≤0,05 мкм). Доступны скругление кромок, зенковка, резьбовые отверстия и вакуумные канавки.
Примечание: Для применений, требующих более высокой трещиностойкости, следует рассмотреть детали из диоксида циркония (ZrO₂). Для обеспечения максимальной теплопроводности обратитесь к нашим изделиям из BeO или Si₃N₄. Все приведенные выше данные строго соответствуют таблице свойств Al₂O₃ (марка 99,8%).
