Пористый керамический вакуумный зажим для работы с деформированными пластинами.
Пористый керамический зажим St.Cera изготовлен из высокочистого оксида алюминия с равномерной открытой пористостью 30–45% и размерами пор от 10 до 100 мкм. В отличие от обычных зажимов с канавками, пористая поверхность обеспечивает равномерное вакуумное воздействие по всей обратной стороне пластины, эффективно удерживая деформированные, тонкие или отдельные пластины без отслаивания краев или поломки. Мягкий вакуум (регулируемый с помощью ограничителя) также предотвращает появление следов на обратной стороне.
Технические характеристики(на основе 99,6% Al)₂O₃):
| Свойство | Ценить |
| Пористость | 30–45% |
| Средний размер пор | 10–100 мкм (выбираемый) |
| Прочность на изгиб | ≥250 МПа |
| Плоскостность (более 300 мм) | ≤5 мкм |
| Отделка поверхности | Притертый (Ra 0,8 мкм) |
| Максимальный уровень вакуума | -80 кПа |
| Рабочая температура | 400 °C (воздух), 600 °C (инертный воздух) |
| Материал | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂ или SiC. |
Приложения:
Шлифовка обратной стороны тонкой пластины (≤50 мкм)
Искривлённое крепление пластины для нарезки
Захват отдельных кристаллов с ленты.
Обработка стеклянных панелей
Производство и качество:
Керамический порошок, смешанный с органическими порообразователями → прессование → спекание → шлифовка до конечной толщины. Каждый зажим проверяется на равномерность вакуума (отклонение ≤5%) и исследуется на распределение размеров пор (СЭМ). Плоскостность измеряется с помощью лазерного интерферометра.
Преимущества перед рифлеными патронами:
Отсутствие следов от краев пластины или смещения кристалла.
Удерживает деформированные пластины (с изгибом до 500 мкм).
Устраняет засорение вакуумных отверстий.
Самовыравнивающаяся подложка для тонких субстратов
Настройка:
Круглая или прямоугольная форма, размером до 600 мм. Возможно применение уплотнительных колец по кромкам или вакуумных перегородок. Для обеспечения высокой жесткости доступны варианты с металлическим основанием.
Запросите образец для проверки размера и деформации вашей пластины.
