-
ST.CERA Специализированное полупроводниковое оборудование Керамические патроны
Критически важные процессы в полупроводниковой отрасли требуют проведения в чистых помещениях, особенно для устройств, которые должны использоваться в условиях высоких температур, вакуума и агрессивных газов. Керамика способна сохранять высокую стабильность в сложных физических и химических средах.
-
ST.CERA Индивидуальное полупроводниковое оборудование Керамические пластины
Критические процессы в полупроводниковой отрасли требуют проведения в чистых помещениях, особенно для устройств, используемых в условиях высоких температур, вакуума и агрессивных газов. Керамика способна сохранять высокую стабильность в сложных физических и химических средах.
-
ST.CERA Специализированное полупроводниковое керамическое фокусирующее кольцо
Критически важные процессы в полупроводниковой отрасли требуют проведения в чистых помещениях, особенно для устройств, которые должны использоваться в условиях высоких температур, вакуума и агрессивных газов. Керамика способна сохранять высокую стабильность в сложных физических и химических средах.
-
ST.CERA Изготовленный на заказ 99,5% глиноземный керамический погрузчик
Керамический концевой захват/манипулятор устанавливается на роботе для обработки кремниевых пластин или «концевом захвате» и используется для перемещения кремниевых пластин в кассеты или технологические камеры или из них.
Преимущества использования керамики заключаются в уменьшении прогиба благодаря высокой прочности на изгиб, устойчивости к высоким температурам, а также в исключении металлических загрязнений и частиц. -
Специально разработанный концевой захват из оксида алюминия ST.CERA
Компания ST.CERA предлагает антистатические покрытия и антистатические керамические концевые захваты. Изготовленные из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, они обеспечивают допуск по размерам ±0,001 мм, шероховатость поверхности Ra 0,1 и термостойкость до 1600℃.
-
ST.CERA Специализированное полупроводниковое керамическое фокусирующее кольцо
Изготовленные из высокочистой (более 99,5%) оксидной керамики на основе оксида алюминия, полученной методом холодного изостатического прессования и спеченной при высокой температуре, а затем подвергнутой прецизионной механической обработке и полировке, керамические запасные части, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования.
Благодаря таким свойствам, как высокая термостойкость, коррозионная стойкость, износостойкость и изоляционные характеристики, керамика может длительное время использоваться во многих видах оборудования для производства полупроводников в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
ST.CERA Специализированные прецизионные полупроводниковые втулки из оксида алюминия
Изготовленные из высокочистой (более 99,5%) оксидной керамики на основе оксида алюминия, полученной методом холодного изостатического прессования и спеченной при высокой температуре, а затем подвергнутой прецизионной механической обработке и полировке, керамические запасные части, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования.
Благодаря таким свойствам, как высокая термостойкость, коррозионная стойкость, износостойкость и изоляционные характеристики, керамика может длительное время использоваться во многих видах оборудования для производства полупроводников в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
Специально разработанный вакуумный захват из оксида алюминия от компании ST.CERA
Это керамический манипулятор/манипулятор лоткового типа, используемый в условиях вакуума.
Керамический концевой захват/манипулятор обладает большей термостойкостью, меньшей склонностью к отклонению и меньшим весом по сравнению с металлическими аналогами.
Благодаря таким свойствам, как высокая термостойкость, коррозионная стойкость, износостойкость и изоляционные характеристики, керамика может длительное время использоваться во многих видах оборудования для производства полупроводников в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
ST.CERA: Керамические трубки и стержни из 99,5% оксида алюминия, изготовленные на заказ.
Благодаря таким свойствам, как высокая термостойкость, коррозионная стойкость, износостойкость и изоляционные характеристики, керамика может длительное время использоваться во многих видах оборудования для производства полупроводников в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
ST.CERA Специализированный концевой захват из оксида алюминия для обработки кремниевых пластин
Компания ST.CERA предлагает концевые захваты/манипуляторы с антистатическим покрытием и антистатическим керамическим материалом, имеющие встроенный полый канал. Мы специализируемся на технологии, позволяющей создавать вакуумный воздушный канал внутри цельного куска материала без использования клея.
Отсутствует риск загрязнения, выделения газов или попадания частиц. Вакуумный манипулятор/манипулятор ST.CERA со специальным покрытием имеет электрическую изоляцию. Мы также можем предложить керамический материал с защитой от электростатического разряда, обеспечивающий электрическую изоляцию без какого-либо покрытия.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃. -
Компоненты полупроводникового оборудования на основе керамического концевого захвата из оксида алюминия
Предотвратите образование частиц, которые могут скапливаться на скошенных или угловых кромках и задней поверхности пластин во время транспортировки или контакта с концевым захватом/манипулятором.
Для изготовления направляющих был использован мягкий материал, не повреждающий пластину.
Истончение материала возможно благодаря встроенной вакуумной канальной технологии ST.CERA, которая не использует клеи.
Возможно просверлить монтажные отверстия и изменить длину и ширину основания, на которое крепится концевой захват/манипулятор к роботу.
В качестве опции доступны крепления датчиков, винтов и кронштейнов.
Предназначен для использования в атмосферных условиях.
-
Изготовление на станках с ЧПУ керамического концевого захвата St.Cera по индивидуальному заказу.
Компания ST.CERA предлагает вакуумный керамический концевой захват/манипулятор со встроенным полым каналом. Мы специализируемся на технологии, позволяющей создавать вакуумный воздушный канал внутри цельного куска материала без использования клея.
Отсутствует риск загрязнения, выделения газов или попадания частиц. Вакуумные манипуляторы/манипуляторы ST.CERA со встроенным каналом отличаются долговечностью и могут использоваться при высоких температурах. Кроме того, мы снижаем себестоимость производства за счет исключения ненужной сборки.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
