-
Высокоточные керамические кольца из оксида алюминия, керамические детали.
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
ST.CERA Специализированное полупроводниковое оборудование, керамические патроны
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
Керамический концевой захват из карбида кремния (SiC) – высокая жесткость для работы с высокотемпературными пластинами.
Керамический концевой захват из карбида кремния (SiC) компании St.Cera изготовлен из высокочистого карбида кремния (содержание SiC 99,72%, свободного Si 0,05%) с использованием материала партии S1111. Он обладает исключительными механическими свойствами: прочность на изгиб 449 МПа (измеренная), модуль упругости 457 ГПа (измеренный) и твердость по Виккерсу 25–28 ГПа (типичная). Низкая плотность (3,10–3,15 г/см³, типичная) обеспечивает высокую удельную жесткость, идеально подходящую для высокоскоростных роботов для переноса пластин. Благодаря теплопроводности 120–150 Вт/м·К (типичная) и коэффициенту теплового расширения 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (типичная), этот концевой захват эффективно рассеивает тепло и сохраняет стабильность размеров при работе при высоких температурах (до 1600–1700 °C, без нагрузки). Черно-серый цвет и нулевое водопоглощение обеспечивают совместимость с чистыми помещениями.
-
Вакуумный зажим на основе карбида кремния (SiC) для высокотемпературных и плазменных сред
Керамический зажим на основе карбида кремния (SiC) от компании St.Cera изготовлен из высокочистого карбида кремния (партия S1111, SiC 99,72%, свободный Si 0,05%). Он обеспечивает измеренную прочность на изгиб 449 МПа, трещиностойкость 3,12 МПа·м¹/² и модуль упругости 457 ГПа. Типичная теплопроводность материала (120–150 Вт/м·К) и низкое тепловое расширение (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) обеспечивают быстрое повышение температуры и минимальную деформацию пластины во время термических циклов. Зажим может быть выполнен в виде пористого вакуумного зажима (равномерный поток газа) или стандартного зажима с канавками. Благодаря максимальной рабочей температуре 1600–1700 °C (без нагрузки) и исключительной устойчивости к плазменной эрозии, этот зажимной патрон идеально подходит для высокотемпературной обработки пластин (отжиг, RTP) и агрессивных камер травления, где алюминиевые зажимные патроны деградируют.
-
Полупроводниковое оборудование, керамические запасные части, керамические держатели
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
Шлифовальное кольцо из оксида алюминия с металлической подложкой для высокоточных притирочных работ.
Металлическое шлифовальное кольцо St.Cera на основе оксида алюминия сочетает в себе износостойкий слой из высокочистого оксида алюминия (99,8% Al₂O₃) и прецизионно обработанную металлическую основу (обычно из алюминия или нержавеющей стали). Эта гибридная конструкция обеспечивает исключительную износостойкость и химическую инертность керамики на шлифовальной поверхности, в то время как металлическая основа добавляет механическую прочность, упрощает монтаж и предотвращает хрупкое разрушение. Слой оксида алюминия обладает прочностью на изгиб 361 МПа, твердостью по Виккерсу 16 ГПа и термической стабильностью до 800°C. Металлическая основа может быть оснащена монтажными отверстиями, установочными штифтами или магнитными свойствами для интеграции в притирочные станки, планетарные шлифовальные станки и оборудование для химико-механической полировки (CMP).
-
Керамические запасные части для оборудования полупроводниковых зондовых станций
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
Специализированная обработка зажимного устройства для керамических пластин из Al2O3.
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
ST.CERA Специализированное полупроводниковое оборудование, керамические пластины
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
12-дюймовый вакуумный зажим из оксида алюминия для обработки 300-мм пластин
12-дюймовый вакуумный зажим St.Cera изготовлен с высокой точностью из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) с чистотой 99,8% и предназначен для работы с 300-мм пластинами. Зажим имеет мелкоканавочную поверхность (ширина канавок 0,5–1,0 мм, шаг 2–3 мм) для обеспечения равномерного распределения вакуума по всему диаметру 300 мм. Плоскостность сохраняется в пределах 5 мкм, что позволяет фиксировать пластины без деформации во время нарезки, шлифовки обратной стороны и контроля качества. Высокая прочность на изгиб (361 МПа) и твердость (16 ГПа) материала гарантируют долговременную стабильность размеров даже при многократных циклах вакуумирования.
-
Алюмокерамический концевой захват со встроенными вакуумными каналами
Вакуумный концевой захват из оксида алюминия от St.Cera интегрирует прецизионно обработанные вакуумные каналы и всасывающие отверстия непосредственно в корпус из высокочистого оксида алюминия (99,8%). Такая конструкция исключает использование внешних вакуумных подушек, обеспечивая прямой захват пластин с равномерным усилием удержания. Высокая прочность на изгиб (361 МПа) и твердость (16 ГПа) материала обеспечивают долговременную стабильность размеров при многократных циклах вакуумирования. Плоскостность по всей площади подушки поддерживается в пределах 10 мкм, предотвращая деформацию и поломку пластин. Вакуумные порты расположены на заднем монтажном фланге для легкой интеграции с роботизированными манипуляторами OEM-производителей.
-
Алюмокерамические компоненты, защищенные от электростатического разряда, для работы с чувствительными к статическому электричеству кремниевыми пластинами.
Керамические детали из оксида алюминия, безопасные для защиты от электростатического разряда (ESD), производства St.Cera изготавливаются из высокочистого Al₂O₃ (99,8%) с заданным удельным сопротивлением поверхности 10⁶–10⁹ Ом/кв, достигаемым с помощью запатентованного процесса легирования или нанесения покрытия. Эти детали эффективно рассеивают статический заряд, предотвращая электростатическое повреждение чувствительных полупроводниковых пластин и устройств. Основной материал сохраняет свою высокую прочность на изгиб (361 МПа), твердость (16 ГПа) и диэлектрическую прочность (15×10⁶ В/м). К безопасным для ESD керамическим деталям относятся концевые захваты, подъемные штифты, направляющие и специальные приспособления для автоматизации FAB.
