-
Специализированная обработка зажимного устройства для керамических пластин из Al2O3.
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
ST.CERA Специализированное полупроводниковое оборудование, керамические пластины
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
12-дюймовый вакуумный зажим из оксида алюминия для обработки 300-мм пластин
12-дюймовый вакуумный зажим St.Cera изготовлен с высокой точностью из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) с чистотой 99,8% и предназначен для работы с 300-мм пластинами. Зажим имеет мелкоканавочную поверхность (ширина канавок 0,5–1,0 мм, шаг 2–3 мм) для обеспечения равномерного распределения вакуума по всему диаметру 300 мм. Плоскостность сохраняется в пределах 5 мкм, что позволяет фиксировать пластины без деформации во время нарезки, шлифовки обратной стороны и контроля качества. Высокая прочность на изгиб (361 МПа) и твердость (16 ГПа) материала гарантируют долговременную стабильность размеров даже при многократных циклах вакуумирования.
-
Керамические запасные части для полупроводникового зондового оборудования
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
Керамические пластинчатые полупроводниковые компоненты
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
Керамические запасные части для полупроводникового оборудования
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
Уплотнительное кольцо из высокочистой оксида алюминия для герметизации высокотемпературных камер.
Керамическое уплотнительное кольцо St.Cera разработано как альтернатива полимерным уплотнительным кольцам в экстремальных условиях, где эластомеры деградируют. Изготовленное из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) чистотой 99,8%, это жесткое уплотнительное кольцо используется в статических герметизирующих системах — обычно в паре с мягкой металлической или графитовой прокладкой — для обеспечения надежного вакуума или удержания газа при температурах до 800°C и в агрессивных плазменных или химических средах. Материал отличается нулевым выделением газов, высокой прочностью на сжатие (предел прочности на изгиб 361 МПа) и химической инертностью (устойчив к галогенам, кислотам и щелочам, за исключением HF). Прецизионно притертые уплотнительные поверхности (плоскостность ≤5 мкм, шероховатость поверхности Ra ≤0,2 мкм) обеспечивают герметичный контакт с сопрягаемыми металлическими или керамическими компонентами.
-
Фокусирующее кольцо из высокочистого оксида алюминия для плазменного травления и систем химического осаждения из газовой фазы.
Фокусирующее кольцо камеры St.Cera — это важнейший компонент технологического комплекта, используемый в оборудовании для плазменного травления, CVD и PVD полупроводников. Изготовленное из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) с чистотой 99,8%, кольцо окружает край пластины, ограничивая плазму и оптимизируя угловое распределение ионов, тем самым улучшая равномерность травления по всей поверхности пластины. Материал обладает исключительной устойчивостью к плазме, высокой диэлектрической прочностью (15×10⁶ В/м) и термической стабильностью до 1600 °C, обеспечивая долговременную надежность в агрессивных плазменных средах на основе фтора или хлора. Точная шлифовка внутреннего и внешнего диаметров и плоскостности (≤10 мкм) обеспечивает точное позиционирование края пластины, уменьшая дефекты кромок и образование частиц.
-
Керамическое кольцо из высокочистого оксида алюминия для камер процесса CVD/PVD.
Керамическое кольцо St.Cera специально разработано для использования в камерах процессов CVD (химическое осаждение из паровой фазы) и PVD (физическое осаждение из паровой фазы). Изготовленное из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) чистотой 99,8%, это кольцо служит в качестве облицовки камеры, фокусирующего кольца или компонента технологического комплекта для удержания плазмы и защиты стенок камеры от эрозии. Материал обладает превосходной плазмостойкостью, высокой диэлектрической прочностью (15×10⁶ В/м) и термической стабильностью до 1600°C, что обеспечивает длительный срок службы в агрессивных средах фторсодержащих плазменных растворов. Точные допуски по размерам (±0,05 мм по внутреннему/внешнему диаметру) и плоскостности (≤10 мкм) обеспечивают стабильное позиционирование краев пластины, улучшая равномерность осаждения и уменьшая образование частиц.
-
Пористый керамический вакуумный зажим для работы с деформированными пластинами.
Пористый керамический зажим St.Cera изготовлен из высокочистого оксида алюминия с равномерной открытой пористостью 30–45% и размерами пор от 10 до 100 мкм. В отличие от обычных зажимов с канавками, пористая поверхность обеспечивает равномерное вакуумное воздействие по всей обратной стороне пластины, эффективно удерживая деформированные, тонкие или отдельные пластины без отслаивания краев или поломки. Мягкий вакуум (регулируемый с помощью ограничителя) также предотвращает появление следов на обратной стороне.
-
Вакуумный зажим из пористой керамики на основе оксида алюминия для работы с тонкими пластинами.
Пористая подставка на основе оксида алюминия от компании St.Cera изготовлена из высокочистого Al₂O₃ (99,6%) с контролируемой открытой пористостью 30–45% и равномерным размером пор от 10 до 50 мкм. В отличие от подставок с канавками, пористая поверхность обеспечивает равномерное распределение вакуума по всей обратной стороне пластины, устраняя следы от кромок и позволяя бережно удерживать сверхтонкие (≤100 мкм) или деформированные пластины. Материал обладает прочностью на изгиб ≥250 МПа и термической стабильностью до 400 °C на воздухе.
-
Газораспределительная пластина из оксида алюминия для душевой лейки, изготовленной методом CVD/PVD.
Газораспределительная пластина (насадка для душа) компании St.Cera изготовлена методом высокоточной механической обработки из высокочистой 99,8% оксида алюминия. Она имеет массив микроотверстий (диаметром 0,3–1,5 мм), обеспечивающих равномерный поток газа по поверхности пластины во время процессов CVD, PVD или ALD. Высокая диэлектрическая прочность пластины (>15×10⁶ В/м) и сопротивление плазме делают ее незаменимой для осаждения полупроводниковых тонких пленок.
